|
| МОК: | 1 шт. |
| цена: | US $ 15/PC |
| Стандартная упаковка: | Цилиндр/бака |
| Срок доставки: | 15 дней |
| Метод оплаты: | L/C, T/T |
| Пропускная способность: | 200 тонн/год |
Гексафторид вольфрама (WF6) - это химическое соединение, состоящее из одного атома вольфрама и шести атомов фтора.Гексафторид вольфрама очень реактивен и может сильно реагировать с водой или влагой в воздухе, высвобождая токсичный фторид водорода.
Применение гексафторида вольфрама включает его использование в качестве прекурсора для отложения вольфрамовых пленок в процессах производства полупроводников.Он обычно используется в химических методах отложения паров (CVD) для создания тонких пленок вольфрама для различных примененийВ этих процессах предпочтительным является гексафторид вольфрама из-за его высокого давления пара, что позволяет эффективно откладывать.
Однако важно обращаться и хранить гексафторид вольфрама с осторожностью из-за его реактивности и токсичности.включая использование соответствующего защитного оборудования и процедур обработки, следует соблюдать при работе с этим соединением.
| Испытательные элементы | Объекты | Требования качества | Результаты испытаний |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| О2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| СО | ppm | <0.5 | <0.02 |
| СО2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Аль. | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Как | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| В. | ppb | ≤ 10 | <0.005 |
| Примерно | ppb | ≤ 5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | <0.001 |
| КР | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Фэ | ppb | ≤ 10 | <0.007 |
| К | ppb | ≤ 5 | <0.100 |
| Мн | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| Нет. | ppb | ≤ 5 | <0.040 |
| - Что? | ppb | ≤ 0.1 | <0.001 |
| Ти | ppb | ≤ 10 | <0.002 |
| Ли | ppb | ≤ 10 | <0.002 |
| У | ppb | ≤ 0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | <0.005 |
| Да, да. | ppb | ≤ 10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| П | ppb | ≤ 2 | <0.300 |
| Мг | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Ни. | ppb | ≤ 20 | <0.030 |
| Ку | ppb | ≤ 5 | <0.005 |
| Мо | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| Общие примеси других металлов | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
|
|
| МОК: | 1 шт. |
| цена: | US $ 15/PC |
| Стандартная упаковка: | Цилиндр/бака |
| Срок доставки: | 15 дней |
| Метод оплаты: | L/C, T/T |
| Пропускная способность: | 200 тонн/год |
Гексафторид вольфрама (WF6) - это химическое соединение, состоящее из одного атома вольфрама и шести атомов фтора.Гексафторид вольфрама очень реактивен и может сильно реагировать с водой или влагой в воздухе, высвобождая токсичный фторид водорода.
Применение гексафторида вольфрама включает его использование в качестве прекурсора для отложения вольфрамовых пленок в процессах производства полупроводников.Он обычно используется в химических методах отложения паров (CVD) для создания тонких пленок вольфрама для различных примененийВ этих процессах предпочтительным является гексафторид вольфрама из-за его высокого давления пара, что позволяет эффективно откладывать.
Однако важно обращаться и хранить гексафторид вольфрама с осторожностью из-за его реактивности и токсичности.включая использование соответствующего защитного оборудования и процедур обработки, следует соблюдать при работе с этим соединением.
| Испытательные элементы | Объекты | Требования качества | Результаты испытаний |
| CF4 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| О2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| СО | ppm | <0.5 | <0.02 |
| СО2 | ppm | <0.5 | <0.01 |
| SiF4 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| SF6 | ppm | <0.5 | <0.1 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Аль. | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Как | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| В. | ppb | ≤ 10 | <0.005 |
| Примерно | ppb | ≤ 5 | <0.200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | <0.001 |
| КР | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Фэ | ppb | ≤ 10 | <0.007 |
| К | ppb | ≤ 5 | <0.100 |
| Мн | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| Нет. | ppb | ≤ 5 | <0.040 |
| - Что? | ppb | ≤ 0.1 | <0.001 |
| Ти | ppb | ≤ 10 | <0.002 |
| Ли | ppb | ≤ 10 | <0.002 |
| У | ppb | ≤ 0.05 | <0.001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | <0.005 |
| Да, да. | ppb | ≤ 10 | <0.100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| П | ppb | ≤ 2 | <0.300 |
| Мг | ppb | ≤ 10 | <0.020 |
| Ни. | ppb | ≤ 20 | <0.030 |
| Ку | ppb | ≤ 5 | <0.005 |
| Мо | ppb | ≤ 10 | <0.001 |
| Общие примеси других металлов | ppb | ≤ 500 | <0.0010 |
