|
| МОК: | 1 кг |
| цена: | US $60/kg |
| Стандартная упаковка: | Цилиндр/бака |
| Срок доставки: | 15 дней |
| Метод оплаты: | L/C, T/T |
| Пропускная способность: | 20000 тонн/год |
Трифлюорид азота (NF3) - химическое соединение, состоящее из одного атома азота и трех атомов фтора.Вот некоторые ключевые моменты о трифториде азота:
Производство: NF3 может быть получен в результате реакции аммиака (NH3) с газом фтора (F2).при повышенных температурах.
Свойства: NF3 является стабильным газом при комнатной температуре и давлении. Он имеет температуру кипения -129 °C (-204 °F) и температуру плавления -206 °C (-339 °F).но он может поддерживать сгораниеNF3 растворим в воде и некоторых органических растворителях.
Применение: основное применение трифторида азота - в качестве моющего средства для удаления тонкопленочных отложений в полупроводниковой промышленности.Он обычно используется для очистки оборудования, такого как камеры химического отложения паров (CVD)Для этого применения предпочтительным является NF3 из-за его высокой выборочности и низкой реактивности на кремний.
Влияние на окружающую среду: NF3 является мощным парниковым газом с высоким потенциалом глобального потепления (GWP).Хотя его концентрация в атмосфере относительно низкая по сравнению с другими парниковыми газами, его длительный жизненный цикл в атмосфере способствует его значительному влиянию на глобальное потепление.
Примечания безопасности: трифторид азота может быть опасен при неправильном обращении или выпуске в больших количествах.Газ NF3 также раздражает дыхательную систему и может вызвать раздражение глаз и кожи.При работе с NF3 следует соблюдать надлежащие меры предосторожности, включая надлежащую вентиляцию и индивидуальное защитное оборудование.
- Что?
Основная информация.
| Молекулярная масса | 147.05 | Плотность | 20,96 кг/м3 |
| Точка плавления | -206,79°C | Точка кипения | -129,0oC |
| Внешний вид | Без цвета, без запаха. | Нет, нет. | 2451 |
| Класс DOT | 2.2 и 5.1 | Вентиль | Diss640 |
| Стандарт цилиндров | GB/ISO/DOT | Давление цилиндра | 15Mpa/20Mpa |
| Транспортный пакет | 47L/440L | Спецификация | 990,99%,99.996% |
| Торговая марка | CMC | Производство | Китай |
| Код СС | 28129011 | Производственная мощность | 5000 т/год |
Спецификация:
| Спецификации | Стандарт компании |
| NF3 | ≥ 99,996% |
| CF4 | ≤20 ppm |
| N2 | ≤5 ppm |
| O2+AR | ≤3 ppm |
| СО | ≤1 ppm |
| СО2 | ≤00,5 ppm |
| N2O | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤2 ppm |
| Уровень влаги | ≤1 ppm |
| Выражается как HF | ≤1 ppm |
Подробная фотография
|
|
| МОК: | 1 кг |
| цена: | US $60/kg |
| Стандартная упаковка: | Цилиндр/бака |
| Срок доставки: | 15 дней |
| Метод оплаты: | L/C, T/T |
| Пропускная способность: | 20000 тонн/год |
Трифлюорид азота (NF3) - химическое соединение, состоящее из одного атома азота и трех атомов фтора.Вот некоторые ключевые моменты о трифториде азота:
Производство: NF3 может быть получен в результате реакции аммиака (NH3) с газом фтора (F2).при повышенных температурах.
Свойства: NF3 является стабильным газом при комнатной температуре и давлении. Он имеет температуру кипения -129 °C (-204 °F) и температуру плавления -206 °C (-339 °F).но он может поддерживать сгораниеNF3 растворим в воде и некоторых органических растворителях.
Применение: основное применение трифторида азота - в качестве моющего средства для удаления тонкопленочных отложений в полупроводниковой промышленности.Он обычно используется для очистки оборудования, такого как камеры химического отложения паров (CVD)Для этого применения предпочтительным является NF3 из-за его высокой выборочности и низкой реактивности на кремний.
Влияние на окружающую среду: NF3 является мощным парниковым газом с высоким потенциалом глобального потепления (GWP).Хотя его концентрация в атмосфере относительно низкая по сравнению с другими парниковыми газами, его длительный жизненный цикл в атмосфере способствует его значительному влиянию на глобальное потепление.
Примечания безопасности: трифторид азота может быть опасен при неправильном обращении или выпуске в больших количествах.Газ NF3 также раздражает дыхательную систему и может вызвать раздражение глаз и кожи.При работе с NF3 следует соблюдать надлежащие меры предосторожности, включая надлежащую вентиляцию и индивидуальное защитное оборудование.
- Что?
Основная информация.
| Молекулярная масса | 147.05 | Плотность | 20,96 кг/м3 |
| Точка плавления | -206,79°C | Точка кипения | -129,0oC |
| Внешний вид | Без цвета, без запаха. | Нет, нет. | 2451 |
| Класс DOT | 2.2 и 5.1 | Вентиль | Diss640 |
| Стандарт цилиндров | GB/ISO/DOT | Давление цилиндра | 15Mpa/20Mpa |
| Транспортный пакет | 47L/440L | Спецификация | 990,99%,99.996% |
| Торговая марка | CMC | Производство | Китай |
| Код СС | 28129011 | Производственная мощность | 5000 т/год |
Спецификация:
| Спецификации | Стандарт компании |
| NF3 | ≥ 99,996% |
| CF4 | ≤20 ppm |
| N2 | ≤5 ppm |
| O2+AR | ≤3 ppm |
| СО | ≤1 ppm |
| СО2 | ≤00,5 ppm |
| N2O | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤2 ppm |
| Уровень влаги | ≤1 ppm |
| Выражается как HF | ≤1 ppm |
Подробная фотография
