МОК: | 1 кг |
цена: | US $50kg |
Стандартная упаковка: | Цилиндр/бака |
Срок доставки: | 15 дней |
Метод оплаты: | L/C, T/T |
Пропускная способность: | 5000 тонн/год |
Трифлюорид азота (NF3) - это химическое соединение, состоящее из одного атома азота, связанного с тремя атомами фтора.
Свойства: Трифлюорид азота является бесцветным, без запаха газом при комнатной температуре и давлении.NF3 является стабильным соединением и не легко реагирует с обычными материалами, такими как металлы или вода.
Производство: трифторид азота в основном производится путем реакции аммиака (NH3) с газом фтора (F2).Реакция происходит в присутствии катализатора и при повышенной температуре.Другие методы производства включают реакцию газа азота (N2) с фторином или прямое фторирование соединений оксида азота.
Приложения: трифторид азота имеет несколько промышленных применений:
Полупроводниковая промышленность: NF3 широко используется в полупроводниковой промышленности в качестве очистительного средства для удаления оксида кремния и других загрязнителей из технологического оборудования.Он особенно эффективен для удаления остаточных пленок на основе кремния в процессах плазменного гравирования..
Производство солнечных панелей LCD и тонкопленочных: трифторид азота используется в производстве жидкокристаллических дисплеев (LCD) и тонкопленочных солнечных панелей.Он используется в качестве очистительного газа для удаления примесей и обеспечения качества поверхностей и пленок..
Химическая промышленность: NF3 служит фторирующим агентом в различных химических реакциях, таких как синтез органических соединений фтора.
Влияние на окружающую среду: трифторид азота считается мощным парниковым газом.Выбросы NF3 увеличиваются из-за его расширения использования в промышленностиПри этом предпринимаются усилия по сокращению выбросов NF3 и улучшению их обращения и удаления.
Отношения с безопасностью: трифторид азота является токсичным и коррозионным газом, с которым следует обращаться осторожно и соблюдать надлежащие меры безопасности.включая использование соответствующего защитного оборудования и систем вентиляции. NF3 может вызвать сильные ожоги глаз, кожи и дыхательных путей при прямом контакте или вдыхании.
Основная информация
Транспортный пакет: | 47L, 440L | Точка плавления | -206,79°C |
Торговая марка: | CMC | Точка кипения | -129,0oC |
Спецификация | 990,99%, 99,996% | Производственная мощность | 5000 м3/год |
Давление цилиндра | 15MPa/20MPa | Вентиль | Diss640 |
Внешний вид | Без цвета и запаха | Плотность | 20,96 кг/м3 |
Спецификации:
Спецификации | Стандарт компании |
NF3 | ≥ 99,996% |
CF4 | ≤20 ppm |
N2 | ≤5 ppm |
O2+AR | ≤3 ppm |
СО | ≤1 ppm |
СО2 | ≤00,5 ppm |
N2O | ≤1 ppm |
SF6 | ≤2 ppm |
Уровень влаги | ≤1 ppm |
Выражается как HF | ≤1 ppm |
Подробная фотография
МОК: | 1 кг |
цена: | US $50kg |
Стандартная упаковка: | Цилиндр/бака |
Срок доставки: | 15 дней |
Метод оплаты: | L/C, T/T |
Пропускная способность: | 5000 тонн/год |
Трифлюорид азота (NF3) - это химическое соединение, состоящее из одного атома азота, связанного с тремя атомами фтора.
Свойства: Трифлюорид азота является бесцветным, без запаха газом при комнатной температуре и давлении.NF3 является стабильным соединением и не легко реагирует с обычными материалами, такими как металлы или вода.
Производство: трифторид азота в основном производится путем реакции аммиака (NH3) с газом фтора (F2).Реакция происходит в присутствии катализатора и при повышенной температуре.Другие методы производства включают реакцию газа азота (N2) с фторином или прямое фторирование соединений оксида азота.
Приложения: трифторид азота имеет несколько промышленных применений:
Полупроводниковая промышленность: NF3 широко используется в полупроводниковой промышленности в качестве очистительного средства для удаления оксида кремния и других загрязнителей из технологического оборудования.Он особенно эффективен для удаления остаточных пленок на основе кремния в процессах плазменного гравирования..
Производство солнечных панелей LCD и тонкопленочных: трифторид азота используется в производстве жидкокристаллических дисплеев (LCD) и тонкопленочных солнечных панелей.Он используется в качестве очистительного газа для удаления примесей и обеспечения качества поверхностей и пленок..
Химическая промышленность: NF3 служит фторирующим агентом в различных химических реакциях, таких как синтез органических соединений фтора.
Влияние на окружающую среду: трифторид азота считается мощным парниковым газом.Выбросы NF3 увеличиваются из-за его расширения использования в промышленностиПри этом предпринимаются усилия по сокращению выбросов NF3 и улучшению их обращения и удаления.
Отношения с безопасностью: трифторид азота является токсичным и коррозионным газом, с которым следует обращаться осторожно и соблюдать надлежащие меры безопасности.включая использование соответствующего защитного оборудования и систем вентиляции. NF3 может вызвать сильные ожоги глаз, кожи и дыхательных путей при прямом контакте или вдыхании.
Основная информация
Транспортный пакет: | 47L, 440L | Точка плавления | -206,79°C |
Торговая марка: | CMC | Точка кипения | -129,0oC |
Спецификация | 990,99%, 99,996% | Производственная мощность | 5000 м3/год |
Давление цилиндра | 15MPa/20MPa | Вентиль | Diss640 |
Внешний вид | Без цвета и запаха | Плотность | 20,96 кг/м3 |
Спецификации:
Спецификации | Стандарт компании |
NF3 | ≥ 99,996% |
CF4 | ≤20 ppm |
N2 | ≤5 ppm |
O2+AR | ≤3 ppm |
СО | ≤1 ppm |
СО2 | ≤00,5 ppm |
N2O | ≤1 ppm |
SF6 | ≤2 ppm |
Уровень влаги | ≤1 ppm |
Выражается как HF | ≤1 ppm |
Подробная фотография